実験装置


位相変調型角度可変分光エリプソメーター

エリプソメトリー(偏光解析法)は、光が試料表面で、反射されるときの偏光状態の変化を測定することによって、試料表面の光学定数や積層構造、膜厚を決定する方法である。 この解析法を用いて、光学定数などの基礎パラメータを評価している。


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